适用范围:适用于投产边长尺寸 182mm~230mm厚度110-220mm,翘曲度小于3度的硅片,制绒、刻蚀端花篮检测
基本功能:本花篮检测主要使用线扫相机配合后置面光源对花篮内硅片表面缺陷进行检测
- 隐裂模块检测
- 方阻模块检测
- AOI模块检测
- 花篮模块检测
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