适用范围:适用于投产边长尺寸 182mm~230mm厚度110-220mm,翘曲度小于3度的硅片,扩散退火段石英舟定位及碎片检测
基本功能:石英舟检测主要使用面帧相机配合特定的面光源对舟定位位置及舟内电池片状态进行检测
- 隐裂模块检测
- 方阻模块检测
- AOI模块检测
- 花篮模块检测
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